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韓國三星電子開始在量產(chǎn)半導體的生產(chǎn)線上使用韓國產(chǎn)氟化氫一事9月4日浮出水面。自日本政府7月加強3種半導體材料的出口管理以后,三星一直在反復測試日本以外的替代品。有分析認為將在一部分量產(chǎn)線上試用,確認是否存在問題。據(jù)《日本經(jīng)濟新聞》網(wǎng)站 9月 5日報道,三星電子相關(guān)人士9月4日承認,“作為推進供給來源多元化的一環(huán),正在一部分生產(chǎn)線上推進非日本造(氟化氫)的測試”。行業(yè)相關(guān)人士透露,三星自8月下旬起,開始在一條生產(chǎn)線上使用韓國企業(yè)供應的氟化氫。氟化氫被用于晶圓的清洗等,三星將首先在對品質(zhì)影響較小的工序上采用非日本造氟化氫。
據(jù)報道,此次投入量產(chǎn)線的是從中國進口、由韓國企業(yè)加工的氟化氫。不過,三星沒有透露企業(yè)名等詳細情況。 SK海力士也在評估非日本造產(chǎn)品能否用于量產(chǎn)線。
報道介紹,韓國氟化氫的最大進口來源地是中國,但如果僅限于用于生產(chǎn)半導體的超高純度產(chǎn)品,日本的Stella Chemifa和森田化學工業(yè)幾乎掌握九成份額。 日本企業(yè)從中國進口原料,在日本的工廠提高純度之后向韓國出口。
另據(jù)臺灣《經(jīng)濟日報》9月6日報道,三星主管表示: “除了從日本進口外,我們也試用國內(nèi)供應商制造的氟化氫,開始用于生產(chǎn)流程……我們會持續(xù)分散采購來源,以防供應鏈受政治議題影響。 ”
報道稱,半導體產(chǎn)品是韓國大宗出口商品,占出口比重約20%,為預防日本切斷這些原料供應重創(chuàng)電子產(chǎn)業(yè)和國內(nèi)經(jīng)濟,韓國科技企業(yè)已加快腳步改用國內(nèi)自產(chǎn)的關(guān)鍵零件和材料。 韓國上周提出預算案,明年研發(fā)預算提高17.3%,增幅破紀錄,為的正是強化國內(nèi)零件與材料產(chǎn)業(yè)競爭力。
此外,據(jù)韓聯(lián)社報道,全球第二大顯示器面板制造商LG 顯示器公司已開始采用韓國國產(chǎn)的蝕刻氣體,SK海力士也正在測試以國內(nèi)制品取代日本進口貨。
據(jù)報道,三星電子9月4日在日本東京舉行的 2019年“三星晶圓代工論壇”上,向在場日本廠商展示三星的極紫外線( EUV)微影光刻技術(shù),這在記憶體除外的半導體領(lǐng)域堪稱最尖端技術(shù)。三星電子是韓國唯一具有EUV量產(chǎn)系統(tǒng)的公司。
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