熱門關(guān)鍵詞: PECVD碳板自動上下料機 機械加工 鈑金加工 插片機 清洗機
全自動半導(dǎo)體硅片甩干機 維護事項:
1、按下屏幕右方的OPEN鍵,使甩干機上蓋打開
2、切斷設(shè)備的電源
3、用14#扳手把甩盤卸下
4、用無塵紙清理腔內(nèi)碎片
5、用百潔布將甩盤下及周圍的銹跡清理干凈
6、用無塵紙沾用酒精將腔內(nèi)、甩盤及周邊清理干凈
7、用14#扳手將甩盤裝到設(shè)備上
8、檢查排廢管道是否漏液,如漏液需上緊接頭或更換管道
9、水管道是否漏水,如果是請重新上緊或更換水管
10、檢查氮氣壓力是否保持在0.4-0.6MPA
11、檢查控制面板上的各種操作按鈕,如有損壞及時更換
12、檢查及清潔電氣原器件,避免造成漏電及局部短路,接觸不良
13、保證設(shè)備可靠接地
14、整理現(xiàn)場
15、對設(shè)備通電,試機
使用中注意事項:不要把工具等落在甩盤內(nèi)
電機上的契型帶半年需更換一次
無錫奧曼特科技有限公司專業(yè)生產(chǎn)全自動半導(dǎo)體硅片甩干機,歡迎來電。
聯(lián)系電話:15995260361 公司網(wǎng)址:hajyh.cn
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