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奧曼特

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硅片清洗干燥設(shè)備  認(rèn)準(zhǔn)奧曼特

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實(shí)驗(yàn)室潔凈石墨舟烘箱

產(chǎn)品應(yīng)用于光伏行業(yè)PECVD石墨舟的烘干,是石墨舟酸清洗后烘干的必備設(shè)備。

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產(chǎn)品簡介 / Introduction

技術(shù)參數(shù)

1

 型號

 SMH28

2

 工作室尺寸

(寬×深×高)mm

 1150×400×950mm

3

 外形尺寸

(寬×深×高)mm

 1540×675×2005

4

 最大石墨舟尺寸: mm

 L988×W191× H274

5

 產(chǎn)能

每層1個石墨舟,共2個舟

6

 溫度范圍

 RT+10~+250

7

 溫控精度 ℃

 ±2

8

 溫度均勻度

 ±2

9

 電源電壓

 AC380V  50HZ

10

 設(shè)備總功率 (KW)

 10


結(jié)構(gòu)特點(diǎn)


一、產(chǎn)品特點(diǎn)及用途

1.產(chǎn)品特點(diǎn)

該設(shè)備是一種新型工業(yè)級潔凈干燥設(shè)備,采用獨(dú)特的內(nèi)外層分體結(jié)構(gòu)結(jié)合內(nèi)循環(huán)風(fēng)道設(shè)計(jì),通過耐高溫超高效過濾器H.E.P.A不斷對內(nèi)部進(jìn)行自凈化過濾,從而形成高潔凈、溫度均勻的密閉的高溫?zé)犸L(fēng)烘烤環(huán)境。

2. 產(chǎn)品用途

產(chǎn)品應(yīng)用于光伏行業(yè)PECVD石墨舟的烘干,是石墨舟酸清洗后烘干的必備設(shè)備。

二、產(chǎn)品詳細(xì)參數(shù);

1.箱體結(jié)構(gòu)

1.1.內(nèi)膽:材質(zhì)為厚度1.5mm的SUS316L不銹鋼,表面特氟龍涂層,涂層厚度60微米,使用過程不脫落。箱體內(nèi)膽氬弧焊焊接成型,焊點(diǎn)打磨拋光處理,能保證膽內(nèi)密封性。

1.2.外殼材質(zhì):外部采用1.5mm厚優(yōu)質(zhì)冷軋鋼板經(jīng)防銹處理后噴塑,也可選用不銹鋼材質(zhì)。

1.3.保溫材質(zhì):采用優(yōu)質(zhì)硅酸鋁棉,保溫厚度為150mm,保溫性能好。

1.4 載物層架:可根據(jù)石墨舟大小調(diào)節(jié)層間距。層架采用厚度2.5mmSUS316L不銹鋼方管,表面特氟隆涂層。

2. 溫度控制系統(tǒng):程序式、數(shù)顯溫控、PID調(diào)節(jié)、自動演算;帶超溫報警、風(fēng)機(jī)過流保護(hù)、相序和缺相保護(hù)、漏電保護(hù)、負(fù)載短路保護(hù)。

3. 控溫方式

3.1.信號來源:采用PT100傳感器±0.5%

3.2.輸出被控組件:SSR固態(tài)無節(jié)點(diǎn)輸出,確保加熱功率精準(zhǔn)。

4.箱內(nèi)熱風(fēng)循環(huán)系統(tǒng)

4.1. 送風(fēng)方式:箱內(nèi)采用水平送風(fēng)。

4.2. 風(fēng)道結(jié)構(gòu):風(fēng)道兩側(cè)采用高密度沖孔風(fēng)板,精準(zhǔn)控制導(dǎo)流板角度,確保箱內(nèi)溫度均勻性。

4.3. 送風(fēng)裝置:采用大功率三相異步耐高溫型長軸靜音馬達(dá)+大口徑不銹鋼渦輪扇葉,渦輪經(jīng)動平衡處理,確保運(yùn)風(fēng)平穩(wěn) ,噪聲≤ 65dB。

4.4. 送風(fēng)裝置安全保護(hù)系統(tǒng):帶超溫過載過流保護(hù)功能,確保馬達(dá)及風(fēng)機(jī)的使用壽命和安全性能。

4.5  電加熱系統(tǒng):采用覆套式不銹鋼無塵化電熱發(fā)生器,潔凈不產(chǎn)塵。

5.潔凈循環(huán)系統(tǒng)

5.1在進(jìn)氣口安裝耐高溫高效過濾器,0.5um直徑PARTICLE,過濾效率99.97%,箱內(nèi)潔凈度可達(dá)Class 1000。

5.2排氣口:排氣管尺寸100mm。

5.3壓差計(jì):配有膜壓式氣壓表,顯示管道排風(fēng)壓力。

 6.電氣和安全保護(hù)系統(tǒng)

6.1. 日本富士數(shù)顯式溫控儀。

6.2. 加熱保護(hù):超溫報警。

6.3. 超溫防止器(獨(dú)立限溫,超溫斷電);

6.4. 總電源相序和缺相保護(hù)。

6.5.馬達(dá)過電流保護(hù);

6.6.電熱過電流保護(hù);

6.7 采用施耐德低壓電氣,歐姆龍相序繼電器等品牌電氣。

產(chǎn)品展示

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公司優(yōu)勢

領(lǐng)軍品牌 實(shí)力保障

品牌實(shí)力品牌 多重保障

15年行業(yè)經(jīng)驗(yàn),專注研發(fā)生產(chǎn)半導(dǎo)體/太陽能光伏清洗設(shè)備

國家高新技術(shù)產(chǎn)品,率先通過ISO9001質(zhì)量體系認(rèn)證

下設(shè)2個分廠:新余市奧曼特科技有限公司、無錫凌晶硅科技有限公司

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專業(yè)研發(fā) 非標(biāo)定制

定制研發(fā)設(shè)計(jì) 非標(biāo)定制

由碩士高級工程師等組成的研發(fā)團(tuán)隊(duì),技術(shù)過硬,實(shí)力雄厚

建立國內(nèi)硅片切割加工設(shè)備生產(chǎn)實(shí)驗(yàn)線

2007年“硅片旋轉(zhuǎn)沖洗甩干機(jī)”評為國家高新技術(shù)產(chǎn)品

榮獲多項(xiàng)硅片加工設(shè)備專利,研發(fā)定制技術(shù)時刻保持行業(yè)前沿

非標(biāo)定制,可根據(jù)客戶需求進(jìn)行量身定制清洗解決方案

匠心工藝 國際品質(zhì)

品質(zhì)匠心工藝 國際品質(zhì)

擁有超8000㎡專業(yè)化規(guī)模生產(chǎn)基地,設(shè)備齊全

嚴(yán)格按照ISO9001:2000標(biāo)準(zhǔn)質(zhì)量管理體系進(jìn)行設(shè)計(jì)·生產(chǎn)·服務(wù)

設(shè)備產(chǎn)品性能穩(wěn)定,使用壽命長,質(zhì)量可靠

自主研發(fā),自有工廠,廠家直銷,性價比高

免費(fèi)定制 貼心售后

服務(wù)免費(fèi)定制 貼心售后

根據(jù)客戶需求免費(fèi)設(shè)計(jì)圖紙/定制解決方案

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每款產(chǎn)品配套有調(diào)試操作視頻,手把手教您操作使用

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