半導(dǎo)體行業(yè)廣泛使用的是哪種清洗技術(shù)？半導(dǎo)體行業(yè)廣泛使用的是超聲波清洗技術(shù)，無(wú)錫奧曼特專業(yè)生產(chǎn)超聲波清洗機(jī)。

超聲波清洗是半導(dǎo)體工業(yè)中上泛應(yīng)用的一種清洗方法，其優(yōu)點(diǎn)是:清洗效果好，操作簡(jiǎn)單,對(duì)于復(fù)雜的器件和容器也能清除，這種清洗方法是在強(qiáng)烈的超聲波作用下(常用的超聲波頻率為20-40kHz),液體介質(zhì)內(nèi)部會(huì)產(chǎn)生疏部和密部,疏部產(chǎn)生近乎真空的空腔泡,當(dāng)空腔泡消失的瞬間,其附近便產(chǎn)生強(qiáng)大的局部壓力,使分子內(nèi)的化學(xué)鍵斷裂將晶園表面的雜質(zhì)解吸， 超聲波清洗的效果與超聲條件(如溫度、壓力、超聲頻率、功率等)有關(guān),多用于清除圓片表面附著的大塊污染和顆粒。

超聲波的功率密度越高，空化效果越強(qiáng)，速度越快，清洗效果越好。但對(duì)于精密的、表面光潔度甚高的物體，采用長(zhǎng)時(shí)間的高功率密度清洗會(huì)對(duì)物體表面產(chǎn)生“空化”腐蝕。

超聲波頻率越低，在液體中產(chǎn)生空化越容易，作用也越強(qiáng)。頻率高則超聲波方向性強(qiáng)，適合于精細(xì)的物體清洗。

一般來(lái)說(shuō)，超聲波在30℃~40℃時(shí)空化效果最好。清洗劑則溫度越高，作用越顯著。

通常實(shí)際應(yīng)用超聲波清洗時(shí)，采用40℃~50℃的工作溫度。

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