全自動硅片旋轉沖洗甩干機是根據(jù)國際、國內半導體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展和市場需求，研究開發(fā)的旋轉沖洗甩干設備。該機型具有高潔凈度旋轉沖洗甩干功能。本系列機型可以適應從φ25mm 到φ200mm 直徑（包括方形和其它特殊形狀）片式材料的旋轉沖洗甩干工藝?？捎糜诎雽w晶片、砷化鎵材料、掩膜版、太陽能電池基片、藍寶石、鈮酸鋰、光學鏡片、磁盤、光盤、醫(yī)用玻璃基片等類似材料的高潔凈度沖洗甩干。是半導體濕法清洗工藝中必不可少的主流設備之一。

設備利用旋轉離心力的方式進行去離子水沖洗、熱氮氣烘干，DI水電阻率監(jiān)控、氮氣加溫、防靜電控制以及系統(tǒng)潔凈化處理來達到高潔凈度的片子清洗效果。

設備由主機、相互獨立的工作腔體、片架載體、去離子水、氮氣控制系統(tǒng)，以及PLC控制和操作系統(tǒng)組成。

產(chǎn)品市場推廣應用情況

1、產(chǎn)品市場應用情況

因為該系列設備在系統(tǒng)結構、技術原理、設備造型等方面比較成功。同時在實施上瞄準了國外先進機型水平。性能指標優(yōu)良、整體技術水平達到了國外同類設備的先進水平。

2、系列化產(chǎn)品開發(fā)

針對不同用戶、不同工藝需求、不同使用場合， 為了提高產(chǎn)品的競爭力，針對市場情況，我們現(xiàn)正在抓緊系列旋轉沖洗甩干機整合工藝功能，采納新技術，新工藝機型以及12″機型的進一步開發(fā)和完善。未來3年內，腔式系列機型將初步形成一個可分別適應高、中、低端不同市場、不同需求的多規(guī)格系列化產(chǎn)品，其中大部分開發(fā)工作已經(jīng)完成。

腔式系列機型的研制開發(fā)，必將提高我國行業(yè)裝備的戰(zhàn)略地位，深入貫徹落實科學發(fā)展觀，適應國內外形勢新變化，順應各族人民過上更好生活新期待，以科學發(fā)展為主題，以加快轉變經(jīng)濟發(fā)展方式為主線，深化改革開放，保障和改善民生，鞏固和擴大應對國際金融危機沖擊成果，促進經(jīng)濟長期平穩(wěn)較快發(fā)展和社會和諧穩(wěn)定，為全面建成小康社會打下具有決定性意義的基礎。推動經(jīng)濟發(fā)展再上新臺階。對替代進口，節(jié)約外匯，產(chǎn)品國產(chǎn)化和滿足國內生產(chǎn)的需求及今后的發(fā)展均有十分重要的意義。除此，對現(xiàn)有國內仍在使用的進口設備維修及配套件更換，也有一定積極作用。同時，該產(chǎn)品無論從加工產(chǎn)品潔凈度和生產(chǎn)效率上都能較好地滿足半導體濕法清洗工藝的要求，在實際使用過程效果較佳，并拓寬了市場，在半導體工藝用片架、片盒及異型片類似產(chǎn)品等領域也得到技術提升和實際應用。