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9月10日,中國半導(dǎo)體材料創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)在寧波北侖正式召開,上海新昇半導(dǎo)體執(zhí)行副總裁費(fèi)璐博士在演講中指出,目前中國有14家公司官宣介入300mm大
硅片產(chǎn)業(yè),總數(shù)量超過目前世界300mm硅片公司數(shù)。這些公司規(guī)劃的總月產(chǎn)能為692萬片,高于目前世界總產(chǎn)能。
費(fèi)璐指出,1976年到2018年的42年間增長了168倍,全球集成電路銷售額從29億美元上漲到了4703億美元,年復(fù)合增長率為12.8%。其中增長最快的兩個(gè)階段分別由電腦和手機(jī)來驅(qū)動(dòng)。
費(fèi)璐表示,硅片仍然在半導(dǎo)體材料中占據(jù)主導(dǎo)地位,而90%以上的芯片和傳感器是基于半導(dǎo)體單晶硅制成。目前300mm大硅片的月產(chǎn)能為650萬片,而且隨著Fab數(shù)量的增長,大硅片產(chǎn)能必將持續(xù)增長。
費(fèi)璐進(jìn)一步指出,大硅片生產(chǎn)技術(shù)包含拉晶、切、磨、拋和外延,步驟看似簡單,但需要考慮的參數(shù)非常多,工藝工程師每天都要顧及到這些參數(shù)。硅片的核心技術(shù)是一個(gè)挑戰(zhàn)極限的過程,費(fèi)璐表示,這主要體現(xiàn)在四個(gè)方面:晶體生長、表面潔凈、片內(nèi)平整和消除金屬/雜質(zhì)。
關(guān)于國內(nèi)大硅片的現(xiàn)狀,費(fèi)璐透露,目前中國有14家公司官宣介入300mm大硅片產(chǎn)業(yè),總數(shù)量超過目前世界300mm硅片公司數(shù)。這些公司規(guī)劃的總月產(chǎn)能為692萬片,高于目前世界總產(chǎn)能。
這些公司資方各異,有大基金、國資、地方政府資金、國家項(xiàng)目資金,也有外資、私企和市場(chǎng)資本。費(fèi)璐表示,這些公司規(guī)劃的產(chǎn)能太高,實(shí)現(xiàn)起來可能沒有那么容易。
最后,費(fèi)璐還介紹了上海新昇半導(dǎo)體的現(xiàn)狀。作為第一家國產(chǎn)大硅片量產(chǎn)企業(yè),新昇現(xiàn)有月產(chǎn)能已經(jīng)達(dá)到了10萬片,現(xiàn)有產(chǎn)房可容月產(chǎn)能為30萬片,現(xiàn)有廠區(qū)可建月產(chǎn)能為60萬片,擴(kuò)建用地可達(dá)100萬片/月產(chǎn)能。費(fèi)璐表示,新昇要實(shí)現(xiàn)300mm國產(chǎn)大硅片從 “0”到“1”的跨越,不斷提高產(chǎn)品的深度和廣度,滿足客戶需求。
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